描述：

高壓電源發(fā)生內(nèi)部故障。

可能導(dǎo)致的原因：

檢查高壓電源液晶屏上顯示的錯(cuò)誤描述，根據(jù)描述排除故障。

Invert X fault: X組驅(qū)動(dòng)故障，檢查三相電壓是否過低；驅(qū)動(dòng)板上各15V電壓是否正常。

I FBK fault X: X組反饋電流出現(xiàn)故障

1、  開高壓瞬間觀察所有放電管是否都有輝光放電，如果有某一根放電管無輝光放電，則可能是高壓油箱內(nèi)硅堆、高壓電容或者高壓包擊穿。

2、  開高壓瞬間如果有一整組放電管無輝光放電，則可能是該組電源驅(qū)動(dòng)板出現(xiàn)問題，檢測(cè)驅(qū)動(dòng)板上各15V是否正常，從控制板到驅(qū)動(dòng)板的電纜是否可靠連接。

3、  檢測(cè)激光器連接大地是否可靠，不可靠的連接大地將會(huì)導(dǎo)致干擾。

4、  將電源模塊切換到開環(huán)，可正常放電后測(cè)量電流板上各組電流值與電源模塊上顯示電流值是否一致，如果不一致則檢查電流板和電源模塊間的電流信號(hào)線纜是否連接可靠。

說明：

描述：

監(jiān)測(cè)油箱箱體的溫度，超過65度報(bào)警。

可能導(dǎo)致的原因：

冷卻水溫度過高－檢查水冷機(jī)設(shè)置。

油箱內(nèi)水流不夠－檢查冷卻管。

說明：

檢測(cè)油箱溫度的常閉溫度開關(guān)安裝在油箱側(cè)壁。

描述：

每分鐘的溫升大于3度或者大于該階段溫度限制10秒，磨合失敗，風(fēng)機(jī)磨合停止。

可能導(dǎo)致的原因：

電機(jī)軸承溫度異常。

風(fēng)機(jī)軸承溫度異常。

軸承上冷卻水流量不夠。

軸承測(cè)溫PT100的線纜接頭連接不牢固或者斷線。

風(fēng)機(jī)軸承的潤滑脂使用量不對(duì)。

說明：

軸承測(cè)溫PT100安裝在風(fēng)機(jī)兩端的軸承外殼內(nèi)。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器風(fēng)機(jī)的變頻器是否工作正常。

可能導(dǎo)致的原因：

變頻器內(nèi)部錯(cuò)誤－檢查液晶屏顯示查看錯(cuò)誤代碼，參見變頻器操作手冊(cè)。

說明：

描述：

渦輪風(fēng)機(jī)電機(jī)側(cè)的軸承溫度異常。

可能導(dǎo)致的原因：

軸承上冷卻水流量不夠。

軸承測(cè)溫PT100的線纜接頭連接不牢固或者斷線。

風(fēng)機(jī)軸承的潤滑脂使用量不對(duì)。

軸承磨損或損壞需要更換。

說明：

軸承測(cè)溫PT100安裝在渦輪風(fēng)機(jī)電機(jī)側(cè)的軸承外殼內(nèi)。

描述：

渦輪風(fēng)機(jī)非電機(jī)側(cè)的軸承溫度異常。

可能導(dǎo)致的原因：

軸承上冷卻水流量不夠。

軸承測(cè)溫PT100的線纜接頭連接不牢固或者斷線。

風(fēng)機(jī)軸承的潤滑脂使用量不對(duì)。

軸承磨損或損壞需要更換。

說明：

軸承測(cè)溫PT100安裝在渦輪風(fēng)機(jī)非電機(jī)側(cè)的軸承外殼內(nèi)。

描述：

風(fēng)機(jī)在90秒內(nèi)未達(dá)到設(shè)定頻率以上。

可能導(dǎo)致的原因：

真空系統(tǒng)泄露 。

氣體混合配比問題 。

風(fēng)機(jī)沒有運(yùn)轉(zhuǎn) 。

風(fēng)機(jī)啟動(dòng)信號(hào)未送達(dá)到變頻器。

變頻器參數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤。

說明：

描述：

光閘吸收體或者光閘鏡溫度過高。

可能導(dǎo)致的原因：

檢查光閘吸收體及光閘鏡冷卻水。

檢查光閘吸收體及光閘鏡上的溫度開關(guān)接線正常。

檢查光閘鏡表面是否被損壞。

說明：

采用安裝在光閘吸收體和光閘鏡的常閉溫度開關(guān)來監(jiān)測(cè)。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器的壓縮空氣或普氮的壓力是否正常，以保證對(duì)窗口鏡片的保護(hù)和光閘的正常開關(guān)。

可能導(dǎo)致的原因：

空壓機(jī)或者普氮?dú)馄康臍怏w壓力不足，氣體壓力表未調(diào)到5.5kg/cm²。

氣管未連接到激光器。

說明：

低于4kg/cm²的前五分鐘，出現(xiàn)警告。

采用安裝在混氣單元上的常閉壓力開關(guān)來進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器工作氣體中的氦氣壓力是否正常。

可能導(dǎo)致的原因：

He氣瓶壓力低－檢查調(diào)節(jié)閥將其設(shè)置到5.5kg/cm²。如果需要，更換氣瓶。

He供氣管沒有和激光器連接或者沒有打開－連接供氣管并打開供氣閥。

說明：

低于4kg/cm²的前五分鐘，出現(xiàn)警告。

采用安裝在混氣單元上的常閉壓力開關(guān)來進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器工作氣體中的CO₂壓力是否正常。

可能導(dǎo)致的原因：

He氣瓶壓力低－檢查調(diào)節(jié)閥將其設(shè)置到5.5kg/cm²。如果需要，更換氣瓶。

He供氣管沒有和激光器連接或者沒有打開－連接供氣管并打開供氣閥。

說明：

低于4kg/cm²的前五分鐘，出現(xiàn)警告。

采用安裝在混氣單元上的常閉壓力開關(guān)來進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器工作氣體中的氮?dú)鈮毫κ欠裾！?/span>

可能導(dǎo)致的原因：

N₂ 氣瓶壓力低－檢查調(diào)節(jié)閥將其設(shè)置到5.5kg/cm²。如果需要，更換氣瓶。

N₂供氣管沒有和激光器連接或者沒有打開－連接供氣管并打開供氣閥。

說明：

低于4kg/cm²的前五分鐘，出現(xiàn)警告。

采用安裝在混氣單元上的常閉壓力開關(guān)來進(jìn)行監(jiān)測(cè)。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器真空是否正常，若不能在90秒內(nèi)將腔壓抽至低于130mbar時(shí)報(bào)警。

可能導(dǎo)致的原因：

真空泄露。

真空泵錯(cuò)誤。

抽氣閥故障。

說明：

描述：

監(jiān)測(cè)激光器冷卻水的溫度，正常的溫度范圍設(shè)定為12℃～25℃。

可能導(dǎo)致的原因：

冷水機(jī)未打開。

冷水機(jī)已打開但水溫還未達(dá)到要求范圍。

冷水機(jī)水溫設(shè)置錯(cuò)誤。

PT100測(cè)溫電阻電纜連接不牢固或者斷線。

冷水機(jī)冷媒不夠。

說明：

PT100測(cè)溫電阻安裝在機(jī)械光閘上。

建議將冷卻水溫設(shè)置在18℃，波動(dòng)范圍設(shè)置在±0.5℃。

描述：

水流量低于激光器運(yùn)行要求

可能導(dǎo)致的原因：

冷水機(jī)未打開。

冷水機(jī)水位不夠。

冷水機(jī)過濾器堵塞，請(qǐng)清洗過濾器。

光閘冷卻水管不暢。

說明：

水流量信號(hào)來自于安裝在機(jī)械光閘上的水流量計(jì)。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器主電源的相位是否接對(duì)，以免真空泵反轉(zhuǎn)，造成損失。

可能導(dǎo)致的原因：

連接到激光器的380V電壓相位不正確。

380V電壓缺相或者電壓不夠。

說明：

在380V電壓值正常且無缺相的情況下，調(diào)換三相電源線其中兩根線的順序。

描述：

監(jiān)測(cè)激光器風(fēng)機(jī)磨合是否正常。

可能導(dǎo)致的原因：

電機(jī)軸承溫度異常。

風(fēng)機(jī)軸承溫度異常。

軸承上冷卻水流量不夠。

軸承測(cè)溫PT100的線纜接頭連接不牢固或者斷線。

風(fēng)機(jī)軸承的潤滑脂使用量不對(duì)。

說明：

軸承測(cè)溫PT100安裝在風(fēng)機(jī)兩端的軸承外殼內(nèi)。

描述：

當(dāng)變頻器過載時(shí)變頻器斷路器斷開。

可能導(dǎo)致的原因：

瞬間超負(fù)荷導(dǎo)致斷路器短路。

變頻器380V電源短路。

說明：

描述：

監(jiān)測(cè)激光器真空泵是否工作正常，當(dāng)真空泵過載時(shí)真空泵斷路器斷開。

可能導(dǎo)致的原因：

真空泵超負(fù)荷。

真空泵380V電源短路。

說明：

描述：

監(jiān)測(cè)激光器的高壓電源是否過載，當(dāng)高壓電源過載時(shí)高壓斷路器斷開。

可能導(dǎo)致的原因：

高壓電源超負(fù)荷。

高壓電源380V電源短路。

高壓電源內(nèi)部問題。

說明：

描述：

風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后，監(jiān)測(cè)激光器的充氣速度是否正常。

可能導(dǎo)致的原因：

混氣單元的充氣電磁閥出現(xiàn)故障或者小孔堵塞。

混氣單元配比錯(cuò)誤。

說明：

描述：

激光器在正常工作時(shí)，氣體壓力偏離工作氣壓范圍。

可能導(dǎo)致的原因：

激光器混氣單元出現(xiàn)問題，充氣速度慢。

快抽閥不能關(guān)閉。

充氣閥不能打開。

真空泵沒有正常工作。

檢測(cè)激光器連接大地是否可靠，無可靠的連接大地將會(huì)導(dǎo)致干擾。

說明：

描述：

監(jiān)測(cè)激光器光閘開啟是否正常。

可能導(dǎo)致的原因：

氣壓低，可調(diào)大混氣單元上的空氣減壓閥提高壓力。

接近開關(guān)移位或損壞。

說明：

描述：

監(jiān)測(cè)激光器光閘關(guān)閉是否正常。

可能導(dǎo)致的原因：

氣壓低，可調(diào)大混氣單元上的空氣減壓閥提高壓力。

接近開關(guān)移位或損壞。

說明：

描述：

監(jiān)測(cè)激光器門是否關(guān)好。

可能導(dǎo)致的原因：

激光器門未關(guān)。

門聯(lián)鎖開關(guān)未壓到位。

說明：

描述：

傳感器檢測(cè)到激光器箱體內(nèi)溫度過高。

可能導(dǎo)致的原因：

箱體內(nèi)換熱器風(fēng)扇損壞。

箱體內(nèi)換熱器冷卻水堵塞。

PT100溫度傳感器接頭松動(dòng)。

檢測(cè)電路故障。

說明：

描述：

氣壓回充超過三分鐘的時(shí)間限制。

可能導(dǎo)致的原因：

正壓泄漏。

回充閥未能打開。

氣管接錯(cuò)。

N2壓力不足。

說明：

描述：

在風(fēng)機(jī)未啟動(dòng)的情況下，變頻器輸出風(fēng)機(jī)速度到達(dá)信號(hào)。

可能導(dǎo)致的原因：

變頻器參數(shù)錯(cuò)誤。

PLC錯(cuò)誤。

說明：

描述：

電流板檢測(cè)到放電異?，F(xiàn)象。

可能導(dǎo)致的原因：

放電管內(nèi)弧光放電。

長(zhǎng)時(shí)間停機(jī)后拷機(jī)和換氣不夠充分。

激光器漏氣。

氣體配比錯(cuò)誤。

氣體純度不夠。

激光器接大地的接地電阻大導(dǎo)致信號(hào)干擾。

說明：

描述：

未按照激光器啟動(dòng)次序打開高壓。

可能導(dǎo)致的原因：

CNC在允許開高壓條件未達(dá)到的情況下送出了開高壓信號(hào)。

機(jī)械光閘未關(guān)閉。

說明：

撤銷開高壓指令待條件達(dá)到時(shí)再打開即可。

描述：

未按照激光器啟動(dòng)次序打開電光閘。

可能導(dǎo)致的原因：

CNC在允許出光條件未達(dá)到的情況下送出了開電光閘信號(hào)。

說明：

撤銷開電光閘指令待條件達(dá)到時(shí)再打開即可。

描述：

工作氣體氣壓低，5分鐘后停機(jī)。

可能導(dǎo)致的原因：

氣瓶氣壓低或者氣瓶關(guān)閉。

氣管接錯(cuò)。

立即更換氣體。

壓力開關(guān)損壞。

說明：

描述：

水流量低于激光器運(yùn)行要求。

可能導(dǎo)致的原因：

冷水機(jī)未打開。

冷水機(jī)水位不夠。

冷水機(jī)過濾器堵塞，請(qǐng)清洗過濾器。

光閘冷卻水管不暢。

說明：

水流量信號(hào)來自于安裝在機(jī)械光閘上的水流量計(jì)。

描述：

冷卻水溫不在激光器要求范圍。

可能導(dǎo)致的原因：

冷水機(jī)未打開。

冷水機(jī)已打開但水溫還未達(dá)到要求范圍。

冷水機(jī)水溫設(shè)置錯(cuò)誤。

PT100測(cè)溫電阻電纜連接不牢固或者斷線。

冷水機(jī)冷媒不夠。

說明：

PT100測(cè)溫電阻安裝在機(jī)械光閘上。

建議將冷卻水溫設(shè)置在18℃，波動(dòng)范圍設(shè)置在±0.5℃。